微波光電導載流子復合壽命測試儀/少子壽命測試儀　型號：HAD-100A

HAD-100A型微波光電導載流子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料際組織SEMI標準MF1535-0707及家標準GB/T 26068-2010*制。并且我單位是微波反射法家標準起草單位之。本設備采用微波反射無接觸光電導衰退測量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導體質(zhì)量的重要檢測項目。