術(shù)：

氮?dú)饧兌龋汉趿?lt;3ppm，露點(diǎn)-56℃
氮?dú)饬髁浚?-300mL/min
作壓力：0.4MPa
消耗率：150W
外型尺寸：370×180×330(mm)
凈   　 重：約10kg

純度、自動(dòng)、防返堿液、流量跟蹤，雙不銹鋼過(guò)濾器，內(nèi)有微量氧脫除劑（不需活化），儀器內(nèi)采用硅橡膠圈(含硫量低)，數(shù)字顯示表

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