| GSZ-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
術(shù)參數(shù)： | 測量范圍 | 電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
電阻：0.001～200Ω.cm；
| | 可測晶片厚度 | ≤3mm | | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； | | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) | | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示； | | 四探針探頭基本標(biāo) | 間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； | | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | | 整機測量*相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% | | 整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% | | 計算機通訊接口 | 并口 | | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無頻干擾；
無強光直射； | |