HAD-D07-7B型 質(zhì)量流量控制器
儀器簡介：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量行*地測量和控制。廣泛用于電子藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
質(zhì)量流量控制器 術(shù)參數(shù)：
| 滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM |
| 控制范圍 | 2～F.S. |
| 閥類型（及閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5％F.S. |
| 線性 | ±0.5～1.5％F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec |
| 作溫度范圍 | 5～45℃ |
| 作壓差 | 0.1～0.5MPa |
| 耐壓 | 3MPa |
| 漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠（或氯丁橡膠） |
| 電插頭形式 | DB15 pin（Female） |
| 接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
| 重量 | 1.1Kg |
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