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能薄膜性測試儀
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產(chǎn)品名稱:
能薄膜性測試儀
產(chǎn)品型號:
HAD0-70601
產(chǎn)品廠商:
恒奧德
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀兩分組成。具有測量精度,靈敏度,穩(wěn)定性好,測量范圍寬,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便等點。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試
能薄膜性測試儀
的詳細(xì)介紹
能薄膜性測試儀
型號:
HAD0-70601
儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀兩分組成。具有測量精度,靈敏度,穩(wěn)定性好,測量范圍寬,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便等點。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,半導(dǎo)體器件廠,科研單位,等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機(jī),測試架等分組成。可以測量片狀,塊狀,塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻),能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的性,還可以對金屬導(dǎo)體的低,中值電阻行測量。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確,游移率小,壽命長。
非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室,溫控系統(tǒng),真空系統(tǒng),阻測量系統(tǒng)等分組成。
1. 測量范圍:電阻測量范圍:1×106 1×1017Ω;
電阻率:0.001~200Ω cm;
電導(dǎo)率:0.005~1000s/cm;
2. 可測晶片直徑:200mm×200mm;
3. 探針:碳化鎢或速鋼;探針間距:1± 0.01mm;
4. 針間緣電阻: ≥ 1000 MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%;
5. 本底真空度: ≤10Pa,氣壓可控范圍:10~400Pa;
襯底加熱溫度:室溫度~200℃
能薄膜性測試儀
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